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一、半導(dǎo)體潔凈室

      潔凈室是指空氣懸浮粒子濃度受控的房間，其建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子，并對室內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。潔凈室工程是半導(dǎo)體集成電路制造環(huán)節(jié)中重要的一環(huán)，直接決定了最終產(chǎn)品的成敗。從1990年代開始至今，半導(dǎo)體技術(shù)飛速發(fā)展，精度不斷提高，對生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度提出了新的要求，潔凈技術(shù)開始騰飛。作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)必需的潔凈環(huán)境提供者，潔凈室空氣凈化也將迎來新一輪的成長與爆發(fā)。

典型的半導(dǎo)體工廠潔凈室如下圖所示

      依據(jù)功能劃分，潔凈室可分為上技術(shù)夾層、潔凈工藝層、下技術(shù)夾層三個(gè)主要區(qū)域。為了保證半導(dǎo)體尖端工藝所需的潔凈度，在上技術(shù)夾層與潔凈工藝層之間、潔凈室關(guān)鍵機(jī)臺(tái)內(nèi)，均裝有由風(fēng)機(jī)過濾單元（FFU/EFU）、高效/超高效過濾器(HEPA/ULPA)及化學(xué)過濾器所構(gòu)成的高過濾精度空氣凈化循環(huán)設(shè)備，以確保半導(dǎo)體制程工藝所需的超高潔凈度與超低氣態(tài)分子污染物濃度。

二、高效/超高效過濾器

      高效/超高效過濾器是保證潔凈室潔凈度的“心臟”。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步，高效過濾器在結(jié)構(gòu)上經(jīng)歷了從有隔板過濾器向無隔板密褶式的轉(zhuǎn)變，隨著結(jié)構(gòu)的改變，也帶來了效率的大幅度提升，目前半導(dǎo)體潔凈室最高等級(jí)的超高效過濾器可以達(dá)到U17(99.999995%@0.1～0.2μm）的過濾效率。除了結(jié)構(gòu)形式上的轉(zhuǎn)變，高效/超高效過濾器的核心過濾材料也在不斷創(chuàng)新。超細(xì)玻璃纖維濾紙是最傳統(tǒng)的高效/超高效過濾器濾材，具有效率范圍廣、容塵量高、使用壽命長、阻燃性好的優(yōu)點(diǎn)。但同時(shí)也有阻力高、脆性大、不耐濕、釋氣（Outgassing）高、無法降解的缺點(diǎn)。PTFE濾料的誕生，一定程度上彌補(bǔ)了玻纖濾料的不足，它具有阻力低、韌性好、釋氣（Outgassing）低等諸多優(yōu)點(diǎn)，但也有自身的不足。由于PTFE濾料屬于膜過濾，因此阻力上升較快，且不阻燃。超細(xì)玻璃纖維與PTFE濾材的性能對比如下所示。

      嘉興富瑞邦新材料科技有限公司始終專注于納米纖維材料的開發(fā)及規(guī)模化生產(chǎn)技術(shù)研發(fā)，開發(fā)的新型高效納米纖維空氣凈化濾材相比玻纖濾材，阻力降低了30%以上，并且加載A2灰時(shí)阻力上升速度更慢，同時(shí)容塵量也提高了30%（注：容塵量采用0.3微米NaCl測試，測試終阻力為2倍初始阻力），可替代傳統(tǒng)玻纖濾材，助力半導(dǎo)體潔凈室領(lǐng)域節(jié)能技術(shù)應(yīng)用，成為空氣凈化行業(yè)的革命性技術(shù)。

三、高效納米纖維過濾器優(yōu)勢分析

在潔凈室領(lǐng)域，高效納米纖維過濾器與傳統(tǒng)的玻纖過濾器相比，具有以下優(yōu)勢：

1）更高的過濾效率：高效納米纖維過濾器的纖維直徑通常在100納米，比傳統(tǒng)過濾介質(zhì)更細(xì)，可以有效地過濾掉更小的微粒和細(xì)菌等微生物，因此具有更高的過濾精度和過濾效率。

2）更低的阻力：納米纖維過濾器所用濾材的纖維直徑更細(xì)，可以形成更多的氣孔，具有更高的孔隙率，從而減小空氣流動(dòng)時(shí)的阻力，阻力低的高效過濾器可以確保潔凈室內(nèi)的空氣流動(dòng)速度保持在最佳水平，同時(shí)保證室內(nèi)空氣的凈化效果。

3）更長的使用壽命：納米纖維過濾器的纖維間距小、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，濾材拉伸強(qiáng)度高，不容易損壞和磨損，同時(shí)因?yàn)榧{米纖維過濾器阻力更低，阻力上升速度慢，達(dá)到相同的終阻力時(shí)，納米纖維過濾器需更長的時(shí)間，可減少更換和維護(hù)的次數(shù)，擁有更長的使用壽命。

4）提高潔凈室生產(chǎn)效率：潔凈室中的一些生產(chǎn)工藝需要在特定的溫度和濕度條件下進(jìn)行，如半導(dǎo)體加工、涂裝處理等。如果溫度或濕度不穩(wěn)定，會(huì)影響到生產(chǎn)效率和工藝精度，進(jìn)而導(dǎo)致產(chǎn)品的性能和質(zhì)量問題。保持潔凈室內(nèi)的穩(wěn)定溫度和濕度可以降低產(chǎn)品中含水量的變化，提高產(chǎn)品的穩(wěn)定性和可靠性。而阻力低的納米纖維過濾器可以提高空氣流動(dòng)速度，有助于保持潔凈室內(nèi)的穩(wěn)定溫度和濕度，從而提高潔凈室的生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。

5）更小的系統(tǒng)噪音：在相同風(fēng)速下，高效低阻納米纖維過濾器所需的風(fēng)量更小，噪音也更小，降低噪音對工作人員身體損害。

6）降低能耗和生產(chǎn)成本：納米纖維過濾器阻力更低，所需的風(fēng)量更小，低阻力的過濾器能減少風(fēng)機(jī)的工作負(fù)荷，降低噪音和能耗，減少能源費(fèi)用；同時(shí)由于其壽命更長，可減少更換和維護(hù)的次數(shù)，也就減少了更換過濾器的成本；保證了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量，降低企業(yè)生產(chǎn)成本。

綜上所述，高效低阻納米纖維過濾器可以保證潔凈室正常運(yùn)行，節(jié)約能源并延長過濾器使用壽命，同時(shí)有助于提高潔凈室生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量，這些優(yōu)勢使其成為潔凈室中理想的過濾器選擇，是潔凈室的重要組成部分。